1.平板顯示器制造廢氣簡述

近年來，智能手機、平板電腦、液晶電視、筆記本電腦等電子產品受益于終端消費市場需求的持續增長，制造這些產品的平板顯示產業規模不斷壯大。平板顯示器是近年來發展較快的高新技術行業，平板顯示業已經逐漸成為我國國民經濟發展進程中一項必不可少的基礎性及戰略性產業。平板顯示行業制程過程中需要使用幾百種化學品，這就間接導致了平板制造業生產過程中的廢氣污染具有種類繁多、組分復雜特點，以及對工廠車間及周邊環境產生嚴重的影響，因此，必須對平板顯示器制造產生廢氣進行凈化處理后，達到大氣污染物排放要求。

1.1 平板顯示器制造廢氣污染物來源

平板顯示器生產過程按工序劃分為陣列生產工序、彩膜生產工序、成盒生產工序、有機蒸鍍生產工序、模組工序等。

酸性廢氣主要來自陣列生產工序濕法刻蝕酸性原料揮發產生的廢氣，以及準分子激光退火裝置定期排放的介質氣體，主要污染物為HCl、氟化物等酸霧。

堿性廢氣主要來自陣列、彩膜生產工序顯影過程產生的堿性揮發性物質，主要污染物為NH。

干法刻蝕和化學氣相沉積廢氣主要來自于一些氣體原料在進行干法刻蝕過程產生一定量的反應廢氣和未反應的原料氣，主要污染物為N0、SiH、NH?、NF?、PH?、BF?、Cl?、SF6、CF4、C4F8、、BCl?。和反應廢氣氟化物和氯化物等。

有機廢氣主要來自于生產過程中有機原材料中有機氣體的揮發，主要污染物非甲烷總烴。

2.平板顯示器制造廢氣處理方法

平板顯示器制造生產過程產生廢氣主要為酸性廢氣、堿性廢氣、干法刻蝕和化學氣相沉積廢氣、有機廢氣，對于這些廢氣處理方法有哪些呢？接下來，天浩洋環保小編詳細介紹平板顯示器制造廢氣處理方法。

2.1 酸性廢氣處理方法

酸性廢氣主要污染物為HCl、HF、氮氧化物等。該類廢氣主要使用氫氧化鈉濕式填料洗滌塔進行酸堿中和凈化處理，洗滌液選擇濃度為4%的氫氧化鈉溶液，廢氣經洗滌塔酸堿中和處理后，達到國家排放標準后排放。

2.2 堿性廢氣處理方法

堿性廢氣主要廢氣污染物為NH?。該類廢氣主要是用硫酸濕式填料洗滌塔進行酸堿中和凈化處理，洗滌液選擇濃度4%的硫酸溶液，廢氣經洗滌塔酸堿中和處理后，達到國家排放標準后排放。

2.3 干法刻蝕和化學氣相沉積廢氣處理方法

干法刻蝕和化學氣相沉積廢氣污染物主要為SO?、HCl、氟化物、NOx、NH?、Cl?等，該類廢氣經過堿性濕式填料洗滌塔酸堿中和凈化處理，洗滌液選擇濃度為4%的NaOH和NaHSO?溶液，凈化后廢氣通過排氣筒高空排放。

2.4 有機廢氣處理方法

有機廢氣主要污染物非甲烷總烴。該類廢氣主要處理方法有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解凈化法，下面詳細介紹非甲烷總烴廢氣處理方法。

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達到凈化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應用于大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣凈化處理。

活性炭凈化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業人員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法只在揮發性有機物在高溫及空氣充足的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各類有機廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大于5000mg/m3 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控制在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合于處理濃度在1000—5000 mg/m3 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒后產生的廢氣直接外排會導致二次污染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢氣，其凈化率是比較高的，但是其投資運營成本極高。因廢氣排放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地面積。熱力燃燒比較適合24小時連續不斷運行且濃度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃燒的投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但凈化效率也相對較低一些；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物）等造成中毒失效，而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控制非常嚴格，否則會造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解凈化法

UV光解凈化法利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧（即活性氧），因游離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解凈化法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的凈化處理；產品性能穩定，運行穩定可靠，每天可24小時連續工作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理與維護，只需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，特別適用于化工、制藥等防爆要求高的行業。

以上關于平板顯示器制造廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實對于平板顯示器制造廢氣處理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方面進行設計收集處理。如果您有平板顯示器制造廢氣需要凈化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，咨詢天浩洋環保,為您提供平板顯示器制造廢氣處理方案及設備。